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精密运动控制平台

Z 轴垂直升降平台 特点:分辨率 0.1μm , 精度:重复精度可达: ±1μm 应用:3C/半导体精准定位组装、检测、光学对焦、纠偏、校准、AOI 、生物医疗

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精密运动控制平台

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