中空伺服电机产品应用:
高速旋转和真空吸附
①法 兰: 90mm ~ 100mm flange
②速度范围: 5,000rpm ~ 8,000rpm,最大加速度:47750R/S²
③额定转矩: 1.91Nm ~ 2.50Nm(功率750W-1000KW)
④轴 定 制 : 电机轴长度或者密封机构做定制
中空伺服电机Spin Motor应用特征:
1、6寸、8寸、 12寸半导体设备
2、涂胶、显影、清洗等制程
3、最大加速度可以达到47750R/S²瞬时加速
4、根据半导体行业特殊性,轴端 特别设计,确保轴端负载跳动系数
5、转速偏差1转
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